1. Definisjon av bulkgasssystem:
Lagring og trykkregulering av inerte gasser Gasstyper: Typiske inerte gasser (nitrogen, argon, trykkluft osv.)
Rørledningsstørrelse: Fra 1/4 (overvåkingsrørledning) til 12-tommers hovedrørledning
Hovedproduktene i systemet er: membranventil/belgventil/kuleventil, høyrenhetskobling (VCR, sveiseform), hylsekobling, trykkreguleringsventil, trykkmåler, etc.
For tiden inkluderer det nye systemet også et spesialgassystem for bulk, som bruker faste gassflasker eller tankbiler til lagring og transport.
2. Definisjon av rensesystem:
Fjerning av urenheter fra bulkgasser for rørledninger med høy renhet av gass
3. Definisjon av gassskap:
Sørg for trykkkontroll og strømningsovervåking for spesielle gasskilder (giftige, brannfarlige, reaktive, etsende gasser), og ha muligheten til å erstatte gassflasker.
Sted: Plassert i underetasjen eller nederste etasje for lagring av spesialgasser. Kilde: NF3, SF6, WF6, etc.
Rørledningsstørrelse: Intern gassrørledning, vanligvis 1/4 tomme for prosessrørledning, 1/4-3/8 tomme hovedsakelig for rørledning for nitrogenrensing med høy renhet.
Hovedprodukter: Høyrenhetsmembranventiler, tilbakeslagsventiler, trykkmålere, trykkmålere, høyrenhetskoblinger (VCR, sveiseform). Disse gassskapene inneholder i hovedsak automatiske koblingsmuligheter for sylindere for å sikre kontinuerlig gasstilførsel og sikker utskifting av sylindere.
4. Definisjon av distribusjon:
Koble gasskilden til gassoppsamlingsspolen
Linjestørrelse: I flisfabrikken varierer størrelsen på bulkgassdistribusjonsrørledningen vanligvis fra 1/2 tomme til 2 tommer.
Tilkoblingsform: Spesielle gassrørledninger er vanligvis koblet sammen ved sveising, uten mekanisk forbindelse eller andre bevegelige deler, hovedsakelig fordi sveiseforbindelsen har sterk tetningspålitelighet.
I en brikkefabrikk er det hundrevis av kilometer med rør koblet til for å overføre gass, som i utgangspunktet er omtrent 20 fot lange og sveiset sammen. Noen rørbøyninger og rørformede sveiseforbindelser er også veldig vanlige.
5. Definisjon av multifunksjonsventilboks (ventilmanifoldboks, VMB):
Det er for å distribuere spesielle gasser fra gasskilden til forskjellige utstyrsender.
Intern rørledningsstørrelse: 1/4 tommers prosessrørledning og 1/4–3/8 tommers spylerørledning. Systemet kan bruke datastyring for å kreve aktiverte ventiler eller redusere kostnadene ved manuelle ventiler.
Systemprodukter: høyrenhetsmembranventiler/belgventiler, tilbakeslagsventiler, høyrenhetskoblinger (VCR, mikrosveiseform), trykkreguleringsventiler, trykkmålere og trykkmålere, etc. For distribusjon av noen inerte gasser brukes hovedsakelig ventilmanifoldpanelet - VMP (multifunksjonsventilskive), som har en åpen gassskiveoverflate og ikke krever et lukket romdesign og ekstra nitrogenspyling.
6. Sekundærventilplate/boks (verktøytilkoblingspanel) Definisjon:
Koble gassen som halvlederutstyret trenger fra gasskilden til utstyrsenden og sørg for tilsvarende trykkregulering. Dette panelet er et gasskontrollsystem som er nærmere utstyrsenden enn VMB (multifunksjonsventilboks).
Størrelse på gassrørledning: 1/4 - 3/8 tomme
Størrelse på væskerørledning: 1/2 - 1 tomme
Størrelse på utløpsrørledning: 1/2 - 1 tomme
Hovedprodukter: membranventil/belgventil, enveisventil, trykkreguleringsventil, trykkmåler, trykkmåler, høyrenskobling (VCR, mikrosveising), ferrulekobling, kuleventil, slange, etc.
Publisert: 22. november 2024