1. Definisjon av bulkgasssystem:
Lagring og trykkkontroll av inerte gasser Gasstyper: Typiske inerte gasser (nitrogen, argon, trykkluft, etc.)
Rørledningsstørrelse: Fra 1/4 (overvåkingsrørledning) til 12-tommers hovedrørledning
Hovedproduktene til systemet er: diafragmaventil/belgventil/kuleventil, høyrenhetskobling (VCR, sveiseform), hylsekobling, trykkreguleringsventil, trykkmåler, etc.
Foreløpig inkluderer det nye systemet også et bulk spesialgasssystem, som bruker faste gassflasker eller tankbiler for lagring og transport.
2. Definisjon av rensesystem:
Fjerning av urenheter fra bulkgasser for gassrørledninger med høy renhet
3. Gassskap Definisjon:
Sørg for trykkkontroll og strømningsovervåking for spesielle gasskilder (giftige, brennbare, reaktive, etsende gasser), og ha muligheten til å erstatte gassflasker.
Plassering: Plassert i Sub-fab-etasjen eller nederste etasje for lagring av spesialgasser Kilde: NF3, SF6, WF6, etc.
Rørledningsstørrelse: Intern gassrørledning, vanligvis 1/4 tomme for prosessrørledning, 1/4-3/8 tomme hovedsakelig for nitrogenspylingsrørledning med høy renhet.
Hovedprodukter: Membranventiler med høy renhet, tilbakeslagsventiler, trykkmålere, trykkmålere, koblinger med høy renhet (VCR, sveiseform) Disse gasskapene inneholder i utgangspunktet automatiske koblingsmuligheter for sylindere for å sikre kontinuerlig gasstilførsel og sikker utskifting av sylindere.
4. Distribusjonsdefinisjon:
Koble gasskilden til gassoppsamlingsspolen
Linjestørrelse: I chipfabrikken varierer størrelsen på bulkgassdistribusjonsrørledningen generelt fra 1/2 tomme til 2 tommer.
Tilkoblingsform: Spesielle gassrørledninger kobles vanligvis sammen ved sveising, uten noen mekanisk forbindelse eller andre bevegelige deler, hovedsakelig fordi sveiseforbindelsen har sterk tetningspålitelighet.
I en chipfabrikk er det hundrevis av kilometer med rør koblet til å overføre gass, som i utgangspunktet er omtrent 20 fot lang og sveiset sammen. Noen rørbend og rørformede sveiseforbindelser er også svært vanlige.
5. Multifunksjons ventilboks (Valve Manifold Box, VMB) Definisjon:
Det er for å distribuere spesielle gasser fra gasskilden til forskjellige utstyrsender.
Intern rørledningsstørrelse: 1/4 tomme prosessrørledning og 1/4 - 3/8 tomme renserørledning. Systemet kan bruke datakontroll for å kreve aktiverte ventiler eller lavere kostnadssituasjoner med manuelle ventiler.
Systemprodukter: membranventiler/belgventiler med høy renhet, tilbakeslagsventiler, skjøter med høy renhet (VCR, mikrosveiseform), trykkreguleringsventiler, trykkmålere og trykkmålere, etc. For distribusjon av enkelte inerte gasser, er ventilmanifoldpanelet - VMP (multifunksjons ventilskive) brukes hovedsakelig, som har en åpen gassskiveoverflate og ikke krever et lukket romdesign og ytterligere nitrogenspyling.
6. Sekundær ventilplate/boks (verktøyoppkoblingspanel) Definisjon:
Koble gassen som kreves av halvlederutstyret fra gasskilden til utstyrsenden og sørg for tilsvarende trykkregulering. Dette panelet er et gasskontrollsystem som er nærmere utstyrsenden enn VMB (multifunksjonsventilboks).
Gassrørledningsstørrelse: 1/4 - 3/8 tomme
Væskerørledningsstørrelse: 1/2 - 1 tomme
Utløpsrørledningsstørrelse: 1/2 - 1 tomme
Hovedprodukter: membranventil/belgventil, enveisventil, trykkreguleringsventil, trykkmåler, trykkmåler, høyrenhetsskjøt (videospiller, mikrosveising), hylseledd, kuleventil, slange, etc.
Innleggstid: 22. november 2024