As halvlederog mikroelektroniske teknologier utvikler seg mot høyere ytelse og høyere integrasjon, det stilles høyere krav til renheten til elektroniske spesialgasser. Rørteknologi for høyrent gass er en viktig del av forsyningssystemet for høyrent gass. Det er nøkkelteknologien for å levere høyrente gasser som oppfyller kravene til gassbrukspunktene, samtidig som de opprettholder kvalifisert kvalitet.
Høyrenhetsrørteknologi inkluderer riktig design av systemet, valg av rørdeler og hjelpematerialer, konstruksjon, installasjon og testing.
01 Generelt konsept for gassoverføringsrør
Alle gasser med høy renhet og høy renhet må transporteres til terminalgasspunktet gjennom rørledninger. For å oppfylle kravene til prosesskvalitet for gass, når gasseksportindeksen er sikker, er det viktig å være oppmerksom på materialvalg og konstruksjonskvalitet i rørsystemet. I tillegg til nøyaktigheten til gassproduksjons- eller renseutstyret, påvirkes det i stor grad av mange faktorer i rørsystemet. Derfor må valget av rør overholde relevante prinsipper for renseindustrien og merke rørmaterialet på tegningene.
02 Betydningen av rørledninger med høy renhet i gasstransport
Betydningen av rørledninger med høy renhet i transport av gass med høy renhet Under smelteprosessen for rustfritt stål kan hvert tonn absorbere omtrent 200 g gass. Etter at det rustfrie stålet er bearbeidet, fester ikke bare forskjellige forurensninger seg på overflaten, men også en viss mengde gass absorberes i metallgitteret. Når det er luftstrøm som passerer gjennom rørledningen, vil den delen av gassen som absorberes av metallet gå tilbake til luftstrømmen og forurense den rene gassen.
Når luftstrømmen i røret er diskontinuerlig, danner røret trykkadsorpsjon på gassen som passerer gjennom. Når luftstrømmen stopper å passere, danner gassen som absorberes av røret trykkreduksjonsanalyse, og den analyserte gassen går også inn i den rene gassen i røret som en urenhet.
Samtidig vil adsorpsjons- og analysesyklusen føre til at metallet på rørets indre overflate produserer en viss mengde pulver. Denne metallstøvpartikkelen forurenser også den rene gassen i røret. Denne egenskapen til røret er svært viktig. For å sikre renheten til den transporterte gassen, kreves det ikke bare at rørets indre overflate har en ekstremt høy glatthet, men også at den har høy slitestyrke.
Når gassen har sterke korrosive egenskaper, må det brukes korrosjonsbestandige rør av rustfritt stål til rørføring. Ellers vil det oppstå korrosjonsflekker på rørets indre overflate på grunn av korrosjon. I alvorlige tilfeller vil store metallbiter flasse av eller til og med perforere, og dermed forurense den rene gassen som transporteres.
03 Rørmateriale
Materialvalget for røret må velges i henhold til bruksbehovene. Rørets kvalitet måles vanligvis i henhold til ruheten på den indre overflaten av røret. Jo lavere ruheten er, desto mindre sannsynlig er det at det bærer partikler. Vanligvis deles det inn i tre typer:
En erEP-rør av 316L-kvalitet, som har blitt elektrolytisk polert (elektropolert). Den er korrosjonsbestandig og har lav overflateruhet. Rmax (maksimal topp-til-dal-høyde) er omtrent 0,3 μm eller mindre. Den har den høyeste flatheten og danner ikke lett mikrovirvelstrømmer. Fjern forurensede partikler. Reaksjonsgassen som brukes i prosessen, bør ledes i rør på dette nivået.
En er enBA-klasse 316Lrør, som er behandlet med Bright Anneal og ofte brukes til gasser som er i kontakt med brikken, men som ikke deltar i prosessreaksjonen, for eksempel GN2 og CDA. Ett er AP-rør (Annealing & Picking), som ikke er spesialbehandlet og vanligvis brukes til doble sett med ytre rør som ikke brukes som gassforsyningsledninger.
04 Rørledningskonstruksjon
Bearbeidingen av røråpningen er et av hovedpunktene i denne konstruksjonsteknologien. Kutting og prefabrikasjon av rørledningen utføres i et rent miljø, og samtidig sikres det at det ikke er skadelige merker eller skader på overflaten av rørledningen før kutting. Forberedelser for nitrogenspyling i rørledningen bør gjøres før rørledningen åpnes. I prinsippet brukes sveising for å koble sammen rørledninger for gassoverføring og distribusjon med høy renhet og høy renhet med stor strømning, men direkte sveising er ikke tillatt. Foringsrør bør brukes, og rørmaterialet som brukes må ikke endre strukturen under sveising. Hvis materiale med for høyt karboninnhold sveises, vil luftgjennomtrengeligheten til sveisedelen føre til at gassen inni og utenfor røret trenger inn i hverandre, noe som ødelegger renheten, tørrheten og rensligheten til transportgassen, noe som vil føre til alvorlige konsekvenser og påvirke produksjonskvaliteten.
Oppsummert må det brukes spesialbehandlede rør av rustfritt stål med høy renhet for overføring av gass og spesielle gasser, noe som gjør at rørledningssystemet med høy renhet (inkludert rørledninger, rørdeler, ventiler, VMB, VMP) spiller en viktig rolle i distribusjon av gass med høy renhet.
Publisert: 26. november 2024