As halvlederog mikroelektroniske teknologier utvikler seg mot høyere ytelse og høyere integrasjon, stilles det høyere krav til renheten til elektroniske spesialgasser. Høyrent gassrørteknologi er en viktig del av gassforsyningssystemet med høy renhet. Det er nøkkelteknologien for å levere gasser med høy renhet som oppfyller kravene til gassbrukspunktene samtidig som den opprettholder kvalifisert kvalitet.
Rørteknologi med høy renhet inkluderer riktig design av systemet, valg av rørdeler og hjelpematerialer, konstruksjon og installasjon og testing.
01Generelt konsept for gassoverføringsrør
Alle gasser med høy renhet og høy renhet må transporteres til terminalgasspunktet gjennom rørledninger. For å oppfylle prosesskvalitetskravene for gass, når gasseksportindeksen er sikker, er det mer nødvendig å ta hensyn til materialvalget og konstruksjonskvaliteten til rørsystemet. I tillegg til nøyaktigheten til gassproduksjons- eller renseutstyret, påvirkes det i stor grad av mange faktorer i rørledningssystemet. Derfor må valget av rør følge de relevante renseindustriens prinsipper og merke materialet til rørene på tegningene.
02Betydningen av rørledninger med høy renhet i gasstransport
Betydningen av rørledninger med høy renhet i gasstransport med høy renhet Under smelteprosessen av rustfritt stål kan hvert tonn absorbere omtrent 200 g gass. Etter at det rustfrie stålet er behandlet, sitter ikke bare forskjellige forurensninger fast på overflaten, men også en viss mengde gass absorberes i metallgitteret. Når det er luftstrøm som passerer gjennom rørledningen, vil den delen av gassen som absorberes av metallet gå inn i luftstrømmen igjen og forurense den rene gassen.
Når luftstrømmen i røret er diskontinuerlig, danner røret trykkadsorpsjon på gassen som passerer gjennom. Når luftstrømmen slutter å passere, danner gassen som adsorberes av røret trykkreduksjonsanalyse, og den analyserte gassen kommer også inn i den rene gassen i røret som en urenhet.
Samtidig vil adsorpsjons- og analysesyklusen føre til at metallet på den indre overflaten av røret produserer en viss mengde pulver. Denne metallstøvpartikkelen forurenser også den rene gassen i røret. Denne egenskapen til røret er veldig viktig. For å sikre renheten til den transporterte gassen kreves det ikke bare at den indre overflaten av røret har en ekstremt høy glatthet, men også at den skal ha høy slitestyrke.
Når gassen har sterke korrosive egenskaper, skal det benyttes korrosjonsbestandige rustfrie rør til rørføring. Ellers vil det oppstå korrosjonsflekker på den indre overflaten av røret på grunn av korrosjon. I alvorlige tilfeller vil store metallstykker flasse av eller til og med perforere, og dermed forurense den rene gassen som transporteres.
03Rørmateriale
Materialvalget til røret må velges i henhold til bruksbehovene. Kvaliteten på røret måles vanligvis i henhold til ruheten til den indre overflaten av røret. Jo lavere ruhet, desto mindre sannsynlig er det at det bærer partikler. Generelt delt inn i tre typer:
En erEP klasse 316L rør, som har blitt elektrolytisk polert (Electro-Polish). Den er korrosjonsbestandig og har lav overflateruhet. Rmax (maksimal topp til dalhøyde) er omtrent 0,3μm eller mindre. Den har den høyeste flatheten og er ikke lett å danne mikrovirvelstrømmer. Fjern forurensede partikler. Reaksjonsgassen som brukes i prosessen bør føres i rør på dette nivået.
Den ene er enBA karakter 316Lpipe, som er behandlet av Bright Anneal og ofte brukes til gasser som er i kontakt med brikken, men som ikke deltar i prosessreaksjonen, som GN2 og CDA. Det ene er AP-rør (Annealing & Picking), som ikke er spesialbehandlet og vanligvis brukes til doble sett med ytre rør som ikke brukes som gasstilførselsledninger.
04 Rørledningskonstruksjon
Behandlingen av rørmunningen er et av hovedpunktene i denne konstruksjonsteknologien. Rørledningsskjæringen og prefabrikasjonen utføres i et rent miljø, og samtidig sikres det at det ikke er skadelige merker eller skader på overflaten av rørledningen før skjæring. Forberedelser for nitrogenspyling i rørledningen bør gjøres før rørledningen åpnes. I prinsippet brukes sveising for å koble gassoverførings- og distribusjonsrørledningene med høy renhet og høy renhet med stor strømning, men direkte sveising er ikke tillatt. Foringsrørskjøter bør brukes, og rørmaterialet som brukes må ikke ha noen endring i struktur under sveising. Hvis materialet med for høyt karboninnhold sveises, vil luftpermeabiliteten til sveisedelen føre til at gassen i og utenfor røret trenger inn i hverandre, og ødelegger renheten, tørrheten og renheten til transportgassen, noe som vil føre til alvorlige konsekvenser. og påvirke produksjonskvaliteten.
Oppsummert, for høyrent gass- og spesielle gassoverføringsrørledninger, må et spesialbehandlet høyrent rustfritt stålrør brukes, noe som gjør at rørledningssystemet med høy renhet (inkludert rørledninger, rørfittings, ventiler, VMB, VMP) opptar en viktig oppgave innen gassdistribusjon med høy renhet.
Innleggstid: 26. november 2024